Diener ATTO - ZEPTO
ATTO configuratie
- Volume van de kamer 10,5 l
- Vacuümpomp 2.5 of 5 m³/h
- Gastoevoer enkel via naaldventielen
- Vacuüm kamer
- Substraatdrager
- Generator 40-100 kHz, 13.56 MHz
- Eén elektrode
- Manuele bediening
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