Diener NANO


Basis configuratie

  • Volume van de kamer 18 tot 36 liter 
  • Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie 
  • Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC) 
  • Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts 
  • Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen 
  • Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz 
  • Eén elektrode of multi-level elektrodes RIE - elekrode optioneel
  • Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing

Provinciebaan 102, B-Gavere
BE 0502.711.309
+32 (0)478 54 69 68
pascalverheyen@sinvacon.be

SINVACON