Diener TETRA 30-100-150


Basis configuratie

  • Volume van de kamer 30 - 50 - 100 - 150 liter
  • Vacuümpomp - diverse mogelijkheden volgens applicatie
  • Gastoevoer via naaldventielen of Mass Flow Controllers (MFC)
  • Vacuüm kamer in RVS uitvoering, aluminium, glas of kwarts
  • Substraatdrager in diverse materialen en uitvoeringen
  • Generator 40-80 kHz, 13.56 MHz of 2.45 GHz
  • Eén elektrode of multi-level elektrodes
  • RIE - elekrode optioneel
  • Manuele bediening, basic PC-sturing of full PC-sturing

Provinciebaan 102, B-Gavere
BE 0502.711.309
+32 (0)478 54 69 68
pascalverheyen@sinvacon.be

SINVACON