lagedrukplasma

Diener PICO

Diener ATTO - ZEPTO | Low pressure plasma | Sinvacon

ZEPTO configuratie

  • Volume van de kamer 2,6 l
  • Vacuümpomp 2.5 m³/h
  • Gastoevoer enkel via naaldventielen
  • Vacuüm kamer
  • Substraatdrager
  • Generator 40-100 kHz, 13.56 MHz
  • Eén elektrode
  • Manuele bediening
[:swvar:columndrag:115:]

Provinciebaan 102, B-Gavere
BE 0502.711.309
+32 (0)478 54 69 68
pascalverheyen@sinvacon.be

SINVACON